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ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 DIS-252 通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對(duì)面渦旋壁(從動(dòng)渦輪)的偏心運(yùn)動(dòng),進(jìn)行排氣的真空泵

更新日期：2025-07-01型號(hào)：DIS-252廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：446
LR60 LR90 LR180ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵

更新日期：2025-07-01型號(hào)：LR60 LR90 LR180廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：621
HR60 HR90 HR300ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵

更新日期：2025-07-01型號(hào)：HR60 HR90 HR300廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：498
UR421-T UR600ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵

ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵 UR421-T UR600 用途 CVD裝置蝕刻裝置灰化裝置 ALD、ALH 等

更新日期：2025-07-01型號(hào)：UR421-T UR600廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：423
LS120A LS300A LS600AULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵

ULVAC愛發(fā)科螺桿型干式真空泵 LS120A LS300A LS600A LS1200A LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵

更新日期：2025-07-01型號(hào)：LS120A LS300A LS600A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：610