HONDA本多電子  石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī) W-357-1MQG-SKC

特征

以最小的損傷清洗具有精細(xì)圖案的晶圓

■在石英振動(dòng)體上疊加超聲波來清洗半導(dǎo)體晶圓。

通過化學(xué)液將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)體傳播到半導(dǎo)體晶圓，從而清洗接觸區(qū)域的化學(xué)液振動(dòng)并利用其加速度去除表面的污垢。

■實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶片損傷較小的清潔清洗

與化學(xué)溶液接觸的部分使用石英，與使用填料等橡膠材料的設(shè)備相比，可以實(shí)現(xiàn)無橡膠溶出或磨損的清潔清潔。

■配備振動(dòng)器冷卻功能，通過氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振動(dòng)器，可穩(wěn)定連續(xù)運(yùn)行，無頻率波動(dòng)。

此外，通過冷卻，不會(huì)出現(xiàn)突然的溫度變化，從而延長(zhǎng)了使用壽命

HONDA本多電子  石英振動(dòng)式超聲波清洗機(jī)  W-357-1MQG-SKC

目的

去除抗蝕劑殘留物

磨邊后、灰化后去除聚合物

柵電極清洗

CMP后清洗

●輸出可變范圍：0W至12W（振動(dòng)器允許輸入：使用空氣吹掃冷卻振動(dòng)器時(shí)，連續(xù)10W）

●使用周圍環(huán)境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%

●外部驅(qū)動(dòng)器觸點(diǎn) 額定值：超聲波振動(dòng)控制（控制側(cè)） 接點(diǎn)輸入：DC12V 16mA以上

　警報(bào)輸出（本裝置） 接點(diǎn)容量：DC24V 0.5A

■附屬電纜：電源線（AC100V/2m或AC200V 2.4m中選擇）、控制線（5m）x4

我司主打品牌明細(xì)表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁禮、KAIJO 楷捷、OHM歐姆電機(jī)、

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科新寶、OKK機(jī)床、AMADA天田、MRM、新熱工業(yè)SHINNETSU、 ATAGO愛拓、ARIMITSU有光工

業(yè)、SHOWASOKKI昭和測(cè)器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤頂、Watty瓦蒂

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KONISHI小西

設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機(jī)、OSAWA大澤、TROAY東麗、EOLUS真空企

業(yè)株式會(huì)社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源

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